Digital catalogue

76739
Яфаров, Р. К.
    Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий [Электронный ресурс] : монография / Р. К. Яфаров. - Москва : Физматлит, 2009. - 217 с. - Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация. - ISBN 978-5-9221-1150-8 : Б. ц.

УДК

533.9

ББК 30.61

Аннотация: В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.

Доп.точки доступа:
Физматлит