Choice of metadata IPR SMART
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Комаров, Ф. Ф.
Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие / Комаров Ф. Ф. - Минск : Вышэйшая школа, 2022. - 248 с. - ISBN 978-985-06-3395-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 34.55
Кл.слова (ненормированные):
дефект -- ионная обработка -- ионный пучок -- легирующий атом -- материал -- микроэлектроника -- отжиг -- фотонная обработка -- электроника
Аннотация: Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Доп.точки доступа:
Константинов, С. В.
Комаров, Ф. Ф.
Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие / Комаров Ф. Ф. - Минск : Вышэйшая школа, 2022. - 248 с. - ISBN 978-985-06-3395-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
дефект -- ионная обработка -- ионный пучок -- легирующий атом -- материал -- микроэлектроника -- отжиг -- фотонная обработка -- электроника
Аннотация: Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Доп.точки доступа:
Константинов, С. В.
Page 1, Results: 1