Choice of metadata Electronic Library
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
More
Д18
Данилина, Т. И.
Процессы микро - и нанотехнологии [Электронный ресурс] : учебное пособие / Т. И. Данилина. - Томск : ТГУ, 2004. - 259 с. - Б. ц.
ББК 32.85я73
Рубрики: ТЕХНИКА
РАДИОЭЛЕКТРОНИКА
Кл.слова (ненормированные):
микросхем -- литографии -- ионная литография -- легирование полупроводников
Д18
Данилина, Т. И.
Процессы микро - и нанотехнологии [Электронный ресурс] : учебное пособие / Т. И. Данилина. - Томск : ТГУ, 2004. - 259 с. - Б. ц.
Рубрики: ТЕХНИКА
РАДИОЭЛЕКТРОНИКА
Кл.слова (ненормированные):
микросхем -- литографии -- ионная литография -- легирование полупроводников
Page 1, Results: 1