Choice of metadata IPR SMART
Page 1, Results: 2
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Берлин, Б. В.
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Б. В. - Москва : Техносфера, 2014. - 256 с. - ISBN 978-5-94836-369-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 34.65
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- нанесение покрытия -- реактивное распыление -- тонкая пленка
Аннотация: Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Доп.точки доступа:
Сейдман, Л. А.
Берлин, Б. В.
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Б. В. - Москва : Техносфера, 2014. - 256 с. - ISBN 978-5-94836-369-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- нанесение покрытия -- реактивное распыление -- тонкая пленка
Аннотация: Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Доп.точки доступа:
Сейдман, Л. А.
2.
Подробнее
Лапуть, О. А.
Лабораторный практикум по курсу «Методы и подходы к модификации поверхности биосовместимых полимеров и композитов на их основе» / Лапуть О. А. - Томск : Издательство Томского государственного университета, 2020. - 121 с. - ISBN 978-5-94621-959-4 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 24.58
Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- исследование полимеров -- магнетронное распыление -- плазменная модификация
Аннотация: Лабораторный практикум составлен в соответствии с тематикой и программой (согласно требованиям ФГОС ВПО) курса «Методы и подходы к модификации поверхности биосовместимых полимеров и композитов на их основе». Особое внимание уделено изучению методов исследования свойств полимерных материалов, модифицированных с помощью потоков энергии различного генеза, в частности – ионной имплантации, магнетронного распыления и плазменной обработки. Лабораторный практикум содержит теоретические основы, а также лабораторные работы и задачи для занятий семинарского типа. Предназначено для магистрантов САЕ Института «Умные материалы и технологии», обучающихся по направлению подготовки 040401 – Химия, а также для студентов высших учебных заведений смежных специальностей и разных форм обучения.
Доп.точки доступа:
Волохова, А. А.
Курзина, И. А.
Лапуть, О. А.
Лабораторный практикум по курсу «Методы и подходы к модификации поверхности биосовместимых полимеров и композитов на их основе» / Лапуть О. А. - Томск : Издательство Томского государственного университета, 2020. - 121 с. - ISBN 978-5-94621-959-4 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- исследование полимеров -- магнетронное распыление -- плазменная модификация
Аннотация: Лабораторный практикум составлен в соответствии с тематикой и программой (согласно требованиям ФГОС ВПО) курса «Методы и подходы к модификации поверхности биосовместимых полимеров и композитов на их основе». Особое внимание уделено изучению методов исследования свойств полимерных материалов, модифицированных с помощью потоков энергии различного генеза, в частности – ионной имплантации, магнетронного распыления и плазменной обработки. Лабораторный практикум содержит теоретические основы, а также лабораторные работы и задачи для занятий семинарского типа. Предназначено для магистрантов САЕ Института «Умные материалы и технологии», обучающихся по направлению подготовки 040401 – Химия, а также для студентов высших учебных заведений смежных специальностей и разных форм обучения.
Доп.точки доступа:
Волохова, А. А.
Курзина, И. А.
Page 1, Results: 2