Choice of metadata IPR SMART
Page 1, Results: 2
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Инновации. Часть 1 : сборник статей. - [Б. м.] : Академия стандартизации, метрологии и сертификации, 2008 - .Инновации. Часть 1 / Даниляк В. И. - 2008. - 76 с. - ISBN 5-93088-068-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 30.17
Кл.слова (ненормированные):
инновация -- человеческий фактор -- микротехнология -- микроэлектромеханическая система -- эргодизайн
Аннотация: Сборник составлен из статей по теме «Инновации», опубликованных в журнале «Компетентность» с 2005 года. Сборник состоит из трех частей, подобранных по годам публикации и различным аспектам инновационного развития. Представлены теоретические и практические инновационные разработки специалистов различных направлений.
Доп.точки доступа:
Даниляк, В. И.
Чайнова, Л. Д.
Дубицкий, Л. Г.
Нурулин, Ю. Р.
Пятышев, Е. Н.
Кулайкин, В. И.
Барышев, Ю. А.
Ивлев, А. А.
Корчак, В. Ю.
Хованов, Д. Г.
Инновации. Часть 1 : сборник статей. - [Б. м.] : Академия стандартизации, метрологии и сертификации, 2008 - .Инновации. Часть 1 / Даниляк В. И. - 2008. - 76 с. - ISBN 5-93088-068-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
инновация -- человеческий фактор -- микротехнология -- микроэлектромеханическая система -- эргодизайн
Аннотация: Сборник составлен из статей по теме «Инновации», опубликованных в журнале «Компетентность» с 2005 года. Сборник состоит из трех частей, подобранных по годам публикации и различным аспектам инновационного развития. Представлены теоретические и практические инновационные разработки специалистов различных направлений.
Доп.точки доступа:
Даниляк, В. И.
Чайнова, Л. Д.
Дубицкий, Л. Г.
Нурулин, Ю. Р.
Пятышев, Е. Н.
Кулайкин, В. И.
Барышев, Ю. А.
Ивлев, А. А.
Корчак, В. Ю.
Хованов, Д. Г.
2.
Подробнее
Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный А. М. - Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2017. - 104 с. - ISBN 978-5-9275-2395-5 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.847
Кл.слова (ненормированные):
лазерная планаризация -- лазерное легирование -- микротехнология -- нанотехнология -- пленка вольфрама -- полупроводниковая поверхность -- технологический процесс -- фотонная обработка -- фотонно-стимулированный процесс -- фотонное излучение
Аннотация: В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Доп.точки доступа:
Житяев, И. Л.
Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный А. М. - Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2017. - 104 с. - ISBN 978-5-9275-2395-5 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
лазерная планаризация -- лазерное легирование -- микротехнология -- нанотехнология -- пленка вольфрама -- полупроводниковая поверхность -- технологический процесс -- фотонная обработка -- фотонно-стимулированный процесс -- фотонное излучение
Аннотация: В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Доп.точки доступа:
Житяев, И. Л.
Page 1, Results: 2