Digital catalogue


 

Choice of metadata IPR SMART

Page 1, Results: 1

Report on unfulfilled requests: 0

93319
Липатов, Г. И.
    Компоненты микросистемной техники : учебное пособие / Липатов Г. И. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. - 83 с. - ISBN 978-5-7731-0799-6 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК
ББК 32.85

Кл.слова (ненормированные):
деформация -- микросистемная техника -- многослойная структура -- мэмс -- однослойная пластина -- электрод
Аннотация: В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Компоненты микросистемной техники» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении».

Липатов, Г. И. Компоненты микросистемной техники [Электронный ресурс] : Учебное пособие / Липатов Г. И., 2019. - 83 с.

1.

Липатов, Г. И. Компоненты микросистемной техники [Электронный ресурс] : Учебное пособие / Липатов Г. И., 2019. - 83 с.


93319
Липатов, Г. И.
    Компоненты микросистемной техники : учебное пособие / Липатов Г. И. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. - 83 с. - ISBN 978-5-7731-0799-6 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК
ББК 32.85

Кл.слова (ненормированные):
деформация -- микросистемная техника -- многослойная структура -- мэмс -- однослойная пластина -- электрод
Аннотация: В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Компоненты микросистемной техники» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении».

Page 1, Results: 1

 

All acquisitions for 
Or select a month