Choice of metadata IPR SMART
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
More
Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный А. М. - Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2017. - 104 с. - ISBN 978-5-9275-2395-5 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.847
Кл.слова (ненормированные):
лазерная планаризация -- лазерное легирование -- микротехнология -- нанотехнология -- пленка вольфрама -- полупроводниковая поверхность -- технологический процесс -- фотонная обработка -- фотонно-стимулированный процесс -- фотонное излучение
Аннотация: В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Доп.точки доступа:
Житяев, И. Л.
Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный А. М. - Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2017. - 104 с. - ISBN 978-5-9275-2395-5 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
лазерная планаризация -- лазерное легирование -- микротехнология -- нанотехнология -- пленка вольфрама -- полупроводниковая поверхность -- технологический процесс -- фотонная обработка -- фотонно-стимулированный процесс -- фотонное излучение
Аннотация: В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Доп.точки доступа:
Житяев, И. Л.
Page 1, Results: 1