Основы технологии электронной компонентной базы/Бодров, Е. Э.

Основы технологии электронной компонентной базы/Бодров, Е. Э.

http://e-lib.dulaty.kz/en/lib/document/EBSIPRBooks/IPRSMART/024591FB-1965-4F45-86C2-CC636FB3B503/

124225
Бодров, Е. Э.
    Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Бодров Е. Э. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. - 204 с. - ISBN 978-5-9729-0846-2 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК

621.3

ББК 32.844

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- легирование -- металлизация -- фотолитография
Аннотация: Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

QR code of document