QR code of document
109535
Сагдеев, Д. И.
Вакуумные установки : практикум / Сагдеев Д. И. - Казань : Казанский национальный исследовательский технологический университет, 2019. - 196 с. - ISBN 978-5-7882-2709-2 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК | 62 |
Кл.слова (ненормированные):
вакуумная система -- вакуумная установка -- коммутирующий элемент -- магнетронный распылитель -- технологический процесс
Аннотация: Содержит основные теоретические положения вакуумных технологических процессов. Рассмотрены классификация и конструктивные особенности вакуумных установок в рамках лабораторного практикума, состоящего из одиннадцати лабораторных работ. Предназначен для студентов очной формы обучения направления подготовки 15.03.02 «Технологические машины и оборудование», профиль «Вакуумная и компрессорная техника физических установок». Подготовлен на кафедре вакуумной техники электрофизических установок.
Доп.точки доступа:
Булаев, С. А.
Аляев, В. А.
Similar publications by classification