Моделирование технологических процессов и интегральных микросхем/Плотникова, Е. Ю.

Моделирование технологических процессов и интегральных микросхем/Плотникова, Е. Ю.

http://e-lib.dulaty.kz/en/lib/document/EBSIPRBooks/IPRSMART/CA99F182-CAE3-44C2-8B08-66E7B5E63F3E/

111472
Плотникова, Е. Ю.
    Моделирование технологических процессов и интегральных микросхем : лабораторный практикум / Плотникова Е. Ю. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2020. - 96 с. - ISBN 978-5-7731-0866-5 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК

621.38

ББК 32.85

Кл.слова (ненормированные):
микросхема -- моделирование -- проектирование -- процесс -- технология
Аннотация: В лабораторном практикуме представлены задачи по методам математического моделирования технологических процессов микро- и наноэлектронного производства в системе автоматизированного проектирования TCAD. Приведены справочные материалы по методам моделирования технологических операций и задания для лабораторных работ. Материал иллюстрируется примерами. Издание предназначено для студентов направлений 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника») и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (программа «Интегральные системы и устройства в микро- и наноэлектронике»), изучающих дисциплины «Математическое моделирование технологических процессов и интегральных схем», «Моделирование физических процессов в микро- и наноэлектронике».

Доп.точки доступа:
Арсентьев, А. В.
Винокуров, А. А.

QR code of document