Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения/Липатов, Г. И.

Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения/Липатов, Г. И.

http://e-lib.dulaty.kz/en/lib/document/IPRSMART/2FA6A859-CD46-43BA-A17B-576CAC201192/

93336
Липатов, Г. И.
    Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г. И. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. - 85 с. - ISBN 978-5-7731-0798-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК

62

ББК 32.84

Кл.слова (ненормированные):
метод -- микроэлектроника -- парогазовая фаза -- пленочный материал -- полупроводниковая техника -- ректификация
Аннотация: В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).

QR code document