Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей/Кручинин, Д. Ю.

Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей/Кручинин, Д. Ю.

http://e-lib.dulaty.kz/en/lib/document/IPRSMART/899EFA87-954E-4D12-B71D-23034A210942/

139646
Кручинин, Д. Ю.
    Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие для СПО / Кручинин Д. Ю. - Саратов, Екатеринбург : Профобразование, Уральский федеральный университет, 2024. - 49 с. - ISBN 978-5-4488-0454-0, 978-5-7996-2891-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК

68

ББК 22.3

Кл.слова (ненормированные):
зеркальное покрытие -- оптическая деталь -- оптическая шкала -- топология -- фотолитография
Аннотация: В учебном пособии изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал, рассматриваются оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Учебное пособие предназначено для изучения дисциплин «Оборудование и технология обработки оптических деталей», «Технология изготовления оптических деталей» по укрупненной группе специальностей и профессий среднего профессионального образования «Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии».

Доп.точки доступа:
Фарафонтова, Е. П.
Дерябина, В. А. \ред.\

QR code of document