Микродатчики и микросистемы/Гридчин, А. В.

 

QR code of document

Ratings: 0

133049
Гридчин, А. В.
    Микродатчики и микросистемы : учебное пособие / Гридчин А. В. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. - 184 с. - ISBN 978-5-9729-1220-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК
621.382
ББК 32.844

Кл.слова (ненормированные):
измерительный прибор -- метрологические параметры -- микродатчики -- микросистемы
Аннотация: Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета ANSYS. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».