Микромеханические приборы [Текст] /Распопов, В.Я.

Микромеханические приборы [Текст] /Распопов, В.Я.

http://e-lib.dulaty.kz/en/lib/document/RETROTARGU/C2213F52-D86A-4D10-8B0D-FA41E6272F1C/

34.9я7
Р24
Распопов, В. Я.
    Микромеханические приборы [Текст] : учеб.пособие / В. Я. Распопов. - Москва : Машиностроение, 2007. - 400 с.:ил. - ISBN 5-217-03360-6 : 10700т. 00т. тг.

ББК 34.9я7

Рубрики: Технология металлов. Машиностроение. Приборостроение

   Приборостроение

Кл.слова (ненормированные):
гироскопы -- микрогироскопы -- камеротные и волновые микрогироскопы -- изготовления микроструктур -- сборка микромеханического прибора -- изотропные травления -- анизотропные травления -- фотолитография -- эпитаксия -- литография -- металлы -- кремний -- материалы -- кристаллы -- динамика ЧЭ микромеханических приборов -- элементная база микромеханических приборов -- измерительные свойства микромеханических приборов
Экземпляры всего: 1
2.1-№2 оқу залы (1)
Свободны: 2.1-№2 оқу залы (1)

QR code of document