Choice of metadata IPR SMART
Page 1, Results: 4
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Васильев, В. Ю.
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Васильев В. Ю. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. - 107 с. - ISBN 978-5-7782-3915-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.85
Кл.слова (ненормированные):
газовая фаза -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- неорганический материал -- тонкая пленка
Аннотация: Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
Васильев, В. Ю.
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Васильев В. Ю. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. - 107 с. - ISBN 978-5-7782-3915-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
газовая фаза -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- неорганический материал -- тонкая пленка
Аннотация: Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
2.
Подробнее
Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие / Маскаева Л. Н. - Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2018. - 136 с. - ISBN 978-5-7996-2411-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 24.1
Кл.слова (ненормированные):
водный раствор -- газовая фаза -- полупроводниковая пленка -- тонкая пленка -- халькогениды -- химическое осаждение
Аннотация: В учебном пособии изложены теоретический материал и алгоритмы выполнения курсовых работ, предлагаемых студентам по ряду профильных дисциплин, связанных с прогнозированием условий и проведением процесса осаждения полупроводниковых пленок на основе халькогенидов металлов и других сопутствующих фаз. Приведены необходимый для выполнения расчетов обширный справочный материал, рекомендации по содержанию и оформлению отчетов. Исходя из известных рабочих рецептур, подобраны различные варианты индивидуальных заданий по курсовым работам. Предназначено для студентов бакалавриата и магистрантов, обучающихся по программе «Химическая технология материалов электроники, сенсорной аналитики и неорганических веществ», будет полезно аспирантам различных специальностей и преподавателям вузов.
Доп.точки доступа:
Маскаева, Л. Н.
Марков, В. Ф.
Форостяная, Н. А.
Туленин, С. С.
Федорова, Е. А.
Смирнова, З. И.
Титов, А. Н.
Маскаевой, Л. Н. \ред.\
Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие / Маскаева Л. Н. - Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2018. - 136 с. - ISBN 978-5-7996-2411-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
водный раствор -- газовая фаза -- полупроводниковая пленка -- тонкая пленка -- халькогениды -- химическое осаждение
Аннотация: В учебном пособии изложены теоретический материал и алгоритмы выполнения курсовых работ, предлагаемых студентам по ряду профильных дисциплин, связанных с прогнозированием условий и проведением процесса осаждения полупроводниковых пленок на основе халькогенидов металлов и других сопутствующих фаз. Приведены необходимый для выполнения расчетов обширный справочный материал, рекомендации по содержанию и оформлению отчетов. Исходя из известных рабочих рецептур, подобраны различные варианты индивидуальных заданий по курсовым работам. Предназначено для студентов бакалавриата и магистрантов, обучающихся по программе «Химическая технология материалов электроники, сенсорной аналитики и неорганических веществ», будет полезно аспирантам различных специальностей и преподавателям вузов.
Доп.точки доступа:
Маскаева, Л. Н.
Марков, В. Ф.
Форостяная, Н. А.
Туленин, С. С.
Федорова, Е. А.
Смирнова, З. И.
Титов, А. Н.
Маскаевой, Л. Н. \ред.\
3.
Подробнее
Сысоев, И. А.
Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону : монография / Сысоев И. А. - Ставрополь : Северо-Кавказский федеральный университет, 2015. - 97 с. - ISBN 978-5-9296-0785-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 22.36
Кл.слова (ненормированные):
газовая фаза -- градиентная эпитаксия -- массоперенос -- микроструктура -- многокомпонентная гетероструктура -- наноструктура -- свойство гетероструктуры -- твердый раствор -- термодинамический анализ -- тонкая зона
Аннотация: В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV. Обсуждаются возможности получения различных микро- и наноструктур соединений АIIIВV с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур. Монография адресована магистрам, аспирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и наноструктурой.
Доп.точки доступа:
Лунин, Л. С.
Сысоев, И. А.
Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону : монография / Сысоев И. А. - Ставрополь : Северо-Кавказский федеральный университет, 2015. - 97 с. - ISBN 978-5-9296-0785-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
газовая фаза -- градиентная эпитаксия -- массоперенос -- микроструктура -- многокомпонентная гетероструктура -- наноструктура -- свойство гетероструктуры -- твердый раствор -- термодинамический анализ -- тонкая зона
Аннотация: В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV. Обсуждаются возможности получения различных микро- и наноструктур соединений АIIIВV с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур. Монография адресована магистрам, аспирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и наноструктурой.
Доп.точки доступа:
Лунин, Л. С.
4.
Подробнее
Мишин, А. В.
Различные методы осреднения гетерогенных сред : учебное пособие / Мишин А. В. - Новосибирск : Новосибирский государственный университет, 2023. - 208 с. - ISBN 978-5-4437-1479-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 24.63
Кл.слова (ненормированные):
газовая фаза -- гетерогенная среда -- жидкая фаза -- инерция -- нелинейный закон -- осреднение -- твердая фаза -- теплопроводность -- фильтрация
Аннотация: Работа посвящена теоретическому описанию гетерогенных сред. Представлен обзор методов, подчеркивающий специфику развития соответствующей области науки. На основе гипотезы о теле сравнения – тело сравнения есть эффективная среда, рядом методов получены идентичные эффективные коэффициенты, на анализе которых делается акцент. Не в меньшей степени уделено внимание методу условных моментов, так как в рамках этой теории в ряде случаев получаются эффективные уравнения с соответствующими эффективными коэффициентами для среды в целом, и для каждой фазы отдельно. Выкладки методом условных моментов представлены на примере теплопроводности и вывода нелинейного закона фильтрации. Проанализировано поведение микронеоднородных систем с несущей жидкой, газовой фазой, переход от несущей жидкой фазы к несущей твердой фазе и, соответственно, сред с несущей твердой фазой. Описана фильтрация жидкой фазы, представлен вывод закона Дарси и его обобщение – закон Форхгеймера. Представлена сила Стокса и ее обобщение, связанное с инерцией по аналогии с выводом закона Форхгеймера. Основываясь на аналогии, рассмотрены явления упругости, вязкости, вязкоупругости, неразрывности и приближение Стокса в микронеоднородных системах. Произведено замыкание уравнений теории смесей, в результате которого найдены межфазные взаимодействия. Предназначено для студентов старших курсов физических, математических, естественнонаучных факультетов университетов, а также аспирантов и научных работников соответствующих специальностей.
Мишин, А. В.
Различные методы осреднения гетерогенных сред : учебное пособие / Мишин А. В. - Новосибирск : Новосибирский государственный университет, 2023. - 208 с. - ISBN 978-5-4437-1479-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
газовая фаза -- гетерогенная среда -- жидкая фаза -- инерция -- нелинейный закон -- осреднение -- твердая фаза -- теплопроводность -- фильтрация
Аннотация: Работа посвящена теоретическому описанию гетерогенных сред. Представлен обзор методов, подчеркивающий специфику развития соответствующей области науки. На основе гипотезы о теле сравнения – тело сравнения есть эффективная среда, рядом методов получены идентичные эффективные коэффициенты, на анализе которых делается акцент. Не в меньшей степени уделено внимание методу условных моментов, так как в рамках этой теории в ряде случаев получаются эффективные уравнения с соответствующими эффективными коэффициентами для среды в целом, и для каждой фазы отдельно. Выкладки методом условных моментов представлены на примере теплопроводности и вывода нелинейного закона фильтрации. Проанализировано поведение микронеоднородных систем с несущей жидкой, газовой фазой, переход от несущей жидкой фазы к несущей твердой фазе и, соответственно, сред с несущей твердой фазой. Описана фильтрация жидкой фазы, представлен вывод закона Дарси и его обобщение – закон Форхгеймера. Представлена сила Стокса и ее обобщение, связанное с инерцией по аналогии с выводом закона Форхгеймера. Основываясь на аналогии, рассмотрены явления упругости, вязкости, вязкоупругости, неразрывности и приближение Стокса в микронеоднородных системах. Произведено замыкание уравнений теории смесей, в результате которого найдены межфазные взаимодействия. Предназначено для студентов старших курсов физических, математических, естественнонаучных факультетов университетов, а также аспирантов и научных работников соответствующих специальностей.
Page 1, Results: 4