Digital catalogue

84681
Груздов, В. В.
    Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) : учебное пособие / Груздов В. В. - Москва : Техносфера, 2017. - 96 с. - ISBN 978-5-94836-471-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК

621.37

ББК 32

Кл.слова (ненормированные):
материал -- микроэлектроника -- свч -- свч электроника -- электроника
Аннотация: Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.

Доп.точки доступа:
Колковский, Ю. В.
Концевой, Ю. А.