Choice of metadata IPR SMART
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Гридчин, А. В.
Введение в современную микро- и наносистемную технику : учебное пособие / Гридчин А. В. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2024. - 232 с. - ISBN 978-5-9729-1613-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.844
Кл.слова (ненормированные):
микросистема -- микроэлектроника -- наносистемная техника -- фотолитография
Аннотация: Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микро-электронного направления и широкого круга читателей.
Гридчин, А. В.
Введение в современную микро- и наносистемную технику : учебное пособие / Гридчин А. В. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2024. - 232 с. - ISBN 978-5-9729-1613-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микросистема -- микроэлектроника -- наносистемная техника -- фотолитография
Аннотация: Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микро-электронного направления и широкого круга читателей.
Page 1, Results: 1