Choice of metadata IPR SMART
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Макеев, М. О.
Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии : монография / Макеев М. О. - Москва : Российский университет дружбы народов, 2018. - 143 с. - ISBN 978-5-209-08575-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 22.3
Кл.слова (ненормированные):
нанодиагностика -- наноинженерия -- наноматериал -- наноструктура -- эллипсометрия
Аннотация: Монография посвящена применению метода ИК-спектроскопической эллипсометрии для исследований и диагностики наноматериалов и наноразмерных многослойных гетероструктур. Плодотворность использования данного метода нанодиагностики обусловлена тем, что, с одной стороны, метод является неразрушающим, а с другой – высокоточным и чувствительным (точность определения толщин слоев гетероструктуры составляет доли нанометра). Этими обстоятельствами обусловлено широкое применение ИК-спектроскопической эллипсометрии в различных областях исследований: в микро- и наноэлектронике, физике полупроводников и физике твердого тела, в оптике, электрохимии, химии полимеров, биологии, медицине и многих других, а также в области диагностики и контроля технологических процессов микро- и нанотехнологий. В монографии приведены результаты исследований наноразмерных полупроводниковых, органических и металлоорганических гетероструктур, выполненных коллективом авторов методом ИК-спектроскопической эллипсометрии. Описаны принципы и методология проведения исследований на спектроскопических эллипсометрах. Для научных сотрудников научно-исследовательских институтов, преподавателей, аспирантов и студентов высших технических учебных заведений по направлениям подготовки «Нанотехнология», «Наноинженерия», «Нанотехнологии и микросистемная техника». Монография будет полезна всем, занимающимся вопросами исследований и диагностики наноматериалов и наноструктур и работающим в области нанотехнологий и наноинженерии.
Доп.точки доступа:
Мешков, С. А.
Иванов, Ю. А.
Макеев, М. О.
Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии : монография / Макеев М. О. - Москва : Российский университет дружбы народов, 2018. - 143 с. - ISBN 978-5-209-08575-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
нанодиагностика -- наноинженерия -- наноматериал -- наноструктура -- эллипсометрия
Аннотация: Монография посвящена применению метода ИК-спектроскопической эллипсометрии для исследований и диагностики наноматериалов и наноразмерных многослойных гетероструктур. Плодотворность использования данного метода нанодиагностики обусловлена тем, что, с одной стороны, метод является неразрушающим, а с другой – высокоточным и чувствительным (точность определения толщин слоев гетероструктуры составляет доли нанометра). Этими обстоятельствами обусловлено широкое применение ИК-спектроскопической эллипсометрии в различных областях исследований: в микро- и наноэлектронике, физике полупроводников и физике твердого тела, в оптике, электрохимии, химии полимеров, биологии, медицине и многих других, а также в области диагностики и контроля технологических процессов микро- и нанотехнологий. В монографии приведены результаты исследований наноразмерных полупроводниковых, органических и металлоорганических гетероструктур, выполненных коллективом авторов методом ИК-спектроскопической эллипсометрии. Описаны принципы и методология проведения исследований на спектроскопических эллипсометрах. Для научных сотрудников научно-исследовательских институтов, преподавателей, аспирантов и студентов высших технических учебных заведений по направлениям подготовки «Нанотехнология», «Наноинженерия», «Нанотехнологии и микросистемная техника». Монография будет полезна всем, занимающимся вопросами исследований и диагностики наноматериалов и наноструктур и работающим в области нанотехнологий и наноинженерии.
Доп.точки доступа:
Мешков, С. А.
Иванов, Ю. А.
Page 1, Results: 1