База данных: IPR SMART кітаптар
Беті 1, Нәтижелерін: 140
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Наноиндустрия [Текст]. - Москва : Техносфера, 2007 - . -
Журнал находится в Премиум-версии IPR SMART. - ISSN 1993-8578
Кл.слова (ненормированные): наноиндустрия -- наноматериал -- наноэлектроника -- нанодатчик -- наноустройство
Аннотация: Журнал «Наноиндустрия» – российское периодическое издание, посвященное наноматериалам, наноэлектронике, нанодатчикам и наноустройствам, диагностике наноструктур и наноматериалов, нанобиотехнологиям и применению нанотехнологий в медицине. Целевая аудитория: руководители и сотрудники профильных предприятий и компаний, специалисты смежных отраслей, а так же аспиранты и студенты старших курсов профильных вузов.
Зарегистрированы поступления:
2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013
| Шифр: Н25912 (Журнал) |
Кл.слова (ненормированные): наноиндустрия -- наноматериал -- наноэлектроника -- нанодатчик -- наноустройство
Аннотация: Журнал «Наноиндустрия» – российское периодическое издание, посвященное наноматериалам, наноэлектронике, нанодатчикам и наноустройствам, диагностике наноструктур и наноматериалов, нанобиотехнологиям и применению нанотехнологий в медицине. Целевая аудитория: руководители и сотрудники профильных предприятий и компаний, специалисты смежных отраслей, а так же аспиранты и студенты старших курсов профильных вузов.
Зарегистрированы поступления:
2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013
2.
Подробнее
Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II : учебное пособие. - [Б. м.] : Новосибирский государственный технический университет, 2014 - .Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II / Величко А. А. - 2014. - 227 с. - ISBN 978-5-7782-2534-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.85
Кл.слова (ненормированные):
метод исследования -- микроэлектронный материал -- наноэлектронный материал -- электронная спектроскопия
Аннотация: Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Доп.точки доступа:
Филимонова, Н. И.
Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II : учебное пособие. - [Б. м.] : Новосибирский государственный технический университет, 2014 - .Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II / Величко А. А. - 2014. - 227 с. - ISBN 978-5-7782-2534-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
метод исследования -- микроэлектронный материал -- наноэлектронный материал -- электронная спектроскопия
Аннотация: Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Доп.точки доступа:
Филимонова, Н. И.
3.
Подробнее
Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Сканирующая зондовая микроскопия. Часть I : учебное пособие. - [Б. м.] : Новосибирский государственный технический университет, 2013 - .Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Сканирующая зондовая микроскопия. Часть I / Филимонова Н. И. - 2013. - 134 с. - ISBN 978-5-7782-2158-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.85
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронный материал -- наноэлектронная структура -- сканирующая микроскопия -- зондовая микроскопия
Аннотация: Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Доп.точки доступа:
Кольцов, Б. Б.
Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Сканирующая зондовая микроскопия. Часть I : учебное пособие. - [Б. м.] : Новосибирский государственный технический университет, 2013 - .Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Сканирующая зондовая микроскопия. Часть I / Филимонова Н. И. - 2013. - 134 с. - ISBN 978-5-7782-2158-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронный материал -- наноэлектронная структура -- сканирующая микроскопия -- зондовая микроскопия
Аннотация: Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Доп.точки доступа:
Кольцов, Б. Б.
4.
Подробнее
Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2 : учебное пособие. - [Б. м.] : Техносфера, 2013 - .Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2 / Артамонова Е. А. - 2013. - 688 с. - ISBN 978-5-94836-353-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.85
Кл.слова (ненормированные):
нанотехнология -- электроника -- наноэлектроника -- наноструктура
Аннотация: Настоящее издание - второй выпуск книги «Нанотехнологии в электронике», вышедшей несколько лет назад. Каждую из частей книги представляет группа авторов, активно развивающих данное направление в Национальном исследовательском университете «МИЭТ». Коллектив авторов старался осуществить частичную преемственность материала, содержащегося в первом выпуске, однако структура книги существенно изменилась: группировка статей по условным разделам (теоретико-экспериментальные работы, методы исследований, технологии, приборы и устройства) представляется более правильной с точки зрения понимания общего направления работ в МИЭТ. Каждая из работ представляет собой законченный научный тру-обзорного или обобщающего характера, либо является частью оригинальных исследований, полученных в последние 3-5 лет. Книга представляет интерес для специалистов, аспирантов и студентов, работающих в области нанотехнологии и смежных областях.
Доп.точки доступа:
Артамонова, Е. А.
Балашов, А. Г.
Белов, А. Н.
Беспалов, В. А.
Гаврилов, С. А.
Герасименко, А. Ю.
Герасименко, Н. Н.
Голишников, А. А.
Громов, Д. Г.
Дюжев, Н. А.
Ичкитидзе, Л. П.
Красюков, А. Ю.
Крупкина, Т. Ю.
Подгаецкий, В. М.
Попков, А. Ф.
Путря, М. Г.
Рыгалин, Б. Н.
Селищев, С. В.
Смирнов, Д. И.
Чаплыгин, Ю. А.
Чиненков, М. Ю.
Шевяков, В. И.
Юров, А. С.
Чаплыгин, Ю. А. \ред.\
Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2 : учебное пособие. - [Б. м.] : Техносфера, 2013 - .Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2 / Артамонова Е. А. - 2013. - 688 с. - ISBN 978-5-94836-353-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
нанотехнология -- электроника -- наноэлектроника -- наноструктура
Аннотация: Настоящее издание - второй выпуск книги «Нанотехнологии в электронике», вышедшей несколько лет назад. Каждую из частей книги представляет группа авторов, активно развивающих данное направление в Национальном исследовательском университете «МИЭТ». Коллектив авторов старался осуществить частичную преемственность материала, содержащегося в первом выпуске, однако структура книги существенно изменилась: группировка статей по условным разделам (теоретико-экспериментальные работы, методы исследований, технологии, приборы и устройства) представляется более правильной с точки зрения понимания общего направления работ в МИЭТ. Каждая из работ представляет собой законченный научный тру-обзорного или обобщающего характера, либо является частью оригинальных исследований, полученных в последние 3-5 лет. Книга представляет интерес для специалистов, аспирантов и студентов, работающих в области нанотехнологии и смежных областях.
Доп.точки доступа:
Артамонова, Е. А.
Балашов, А. Г.
Белов, А. Н.
Беспалов, В. А.
Гаврилов, С. А.
Герасименко, А. Ю.
Герасименко, Н. Н.
Голишников, А. А.
Громов, Д. Г.
Дюжев, Н. А.
Ичкитидзе, Л. П.
Красюков, А. Ю.
Крупкина, Т. Ю.
Подгаецкий, В. М.
Попков, А. Ф.
Путря, М. Г.
Рыгалин, Б. Н.
Селищев, С. В.
Смирнов, Д. И.
Чаплыгин, Ю. А.
Чиненков, М. Ю.
Шевяков, В. И.
Юров, А. С.
Чаплыгин, Ю. А. \ред.\
5.
Подробнее
Захаренко, В. А.
Методы и средства теплового контроля : учебное пособие / Захаренко В. А. - Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2023. - 115 с. - ISBN 978-5-4497-1913-3, 978-5-8149-2537-4 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 31.32
Кл.слова (ненормированные):
метрология -- неразрушающий контроль -- пирометрический прибор -- тепловизионный прибор -- тепловой контроль -- термометр
Аннотация: Учебное пособие посвящено методам и средствам теплового контроля как одной из областей методов и средств неразрушающего контроля в промышленности. Даны рекомендации по проектированию и применению контактных термометров, а также пирометрических и тепловизионных приборов. Предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» и выполняющих курсовые работы, курсовые проекты, УИРС и ВКР, а также аспирантов и слушателей курсов повышения квалификации, проходящих переподготовку по программе «Методы и средства теплового контроля и их метрологическое обеспечение».
Доп.точки доступа:
Вальке, А. А.
Захаренко, В. А.
Методы и средства теплового контроля : учебное пособие / Захаренко В. А. - Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2023. - 115 с. - ISBN 978-5-4497-1913-3, 978-5-8149-2537-4 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
метрология -- неразрушающий контроль -- пирометрический прибор -- тепловизионный прибор -- тепловой контроль -- термометр
Аннотация: Учебное пособие посвящено методам и средствам теплового контроля как одной из областей методов и средств неразрушающего контроля в промышленности. Даны рекомендации по проектированию и применению контактных термометров, а также пирометрических и тепловизионных приборов. Предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» и выполняющих курсовые работы, курсовые проекты, УИРС и ВКР, а также аспирантов и слушателей курсов повышения квалификации, проходящих переподготовку по программе «Методы и средства теплового контроля и их метрологическое обеспечение».
Доп.точки доступа:
Вальке, А. А.
6.
Подробнее
Зеленин, В. А.
Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники / Зеленин В. А. - Минск : Белорусская наука, 2022. - 291 с. - ISBN 978-985-08-2875-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.85
Кл.слова (ненормированные):
изготовление мишеней -- наноэлектроника -- сплавы -- структура пленок
Аннотация: Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС. Рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, специалистов в области микро- и наноэлектроники, может служить в качестве учебного пособия по теоретическим вопросам конструирования и производства ИМС для студентов и аспирантов вузов.
Зеленин, В. А.
Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники / Зеленин В. А. - Минск : Белорусская наука, 2022. - 291 с. - ISBN 978-985-08-2875-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
изготовление мишеней -- наноэлектроника -- сплавы -- структура пленок
Аннотация: Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС. Рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, специалистов в области микро- и наноэлектроники, может служить в качестве учебного пособия по теоретическим вопросам конструирования и производства ИМС для студентов и аспирантов вузов.
7.
Подробнее
Калинин, С. В.
Математическое моделирование устройств и систем : учебное пособие / Калинин С. В. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2022. - 152 с. - ISBN 978-5-7782-4620-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 22.1
Кл.слова (ненормированные):
интерполяция сплайнами -- математическое моделирование -- формула симпсона -- численное интегрирование
Аннотация: В настоящее время математическое моделирование устройств и систем основывается на использовании таких средств вычислительной математики, как численный анализ и численное решение краевых задач для уравнений математической физики. В настоящем пособии рассматриваются вопросы интерполяции и сглаживания экспериментальных данных, численного вычисления интегралов, а также введения в численные методы решения краевых задач методом сеток и методом конечных элементов. Материал пособия предназначен для обучения магистров по направлению 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника». Он может быть также полезен для будущих бакалавров и магистров других специальностей факультета РЭФ НГТУ, желающих углубить свои знания в области математического моделирования с использованием современных численных методов вычислительной математики. Пособие подготовлено на кафедре полупроводниковых приборов и микроэлектроники НГТУ.
Доп.точки доступа:
Мальцев, Н. В.
Калинин, С. В.
Математическое моделирование устройств и систем : учебное пособие / Калинин С. В. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2022. - 152 с. - ISBN 978-5-7782-4620-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
интерполяция сплайнами -- математическое моделирование -- формула симпсона -- численное интегрирование
Аннотация: В настоящее время математическое моделирование устройств и систем основывается на использовании таких средств вычислительной математики, как численный анализ и численное решение краевых задач для уравнений математической физики. В настоящем пособии рассматриваются вопросы интерполяции и сглаживания экспериментальных данных, численного вычисления интегралов, а также введения в численные методы решения краевых задач методом сеток и методом конечных элементов. Материал пособия предназначен для обучения магистров по направлению 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника». Он может быть также полезен для будущих бакалавров и магистров других специальностей факультета РЭФ НГТУ, желающих углубить свои знания в области математического моделирования с использованием современных численных методов вычислительной математики. Пособие подготовлено на кафедре полупроводниковых приборов и микроэлектроники НГТУ.
Доп.точки доступа:
Мальцев, Н. В.
8.
Подробнее
Молекулярная физика и основы термодинамики : учебное пособие / сост. О. М. Алыкова. - Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2022. - 222 с. - ISBN 978-5-4497-1434-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 22.3
Кл.слова (ненормированные):
жидкое состояние -- классическая статистика -- молекулярная физика -- твердое состояние -- термодинамика -- явления переноса
Аннотация: В учебном пособии даны основы молекулярной физики и термодинамики. Описаны элементы классической статистики Максвелла — Больцмана, явления переноса. Подробно рассмотрены первое и второе начала термодинамики, приведены основные положения теории реальных газов. Отдельная глава посвящена характеристике твердых и жидких состояний. Изложение ведется с использованием простых математических выкладок, в тексте присутствует современная терминология, широко используются методы анализа размерностей. В конце каждой главы приводятся контрольные вопросы, рекомендуемые демонстрации, подробно разобранные примеры решения задач и задачи для самостоятельного решения с ответами. Учебное пособие предназначено для студентов I–II курсов, обучающихся по направлениям подготовки 03.03.02 «Физика», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 12.03.04 «Биотехнические системы и технологии», 22.03.01 «Материаловедение и технологии материалов», 44.03.05 «Педагогическое образование (с двумя профилями подготовки)» (профили «Физика и информатика», «Математика и физика»), изучающих курсы молекулярной физики и термодинамики.
Доп.точки доступа:
Алыкова, О. М. \сост.\
Молекулярная физика и основы термодинамики : учебное пособие / сост. О. М. Алыкова. - Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2022. - 222 с. - ISBN 978-5-4497-1434-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
жидкое состояние -- классическая статистика -- молекулярная физика -- твердое состояние -- термодинамика -- явления переноса
Аннотация: В учебном пособии даны основы молекулярной физики и термодинамики. Описаны элементы классической статистики Максвелла — Больцмана, явления переноса. Подробно рассмотрены первое и второе начала термодинамики, приведены основные положения теории реальных газов. Отдельная глава посвящена характеристике твердых и жидких состояний. Изложение ведется с использованием простых математических выкладок, в тексте присутствует современная терминология, широко используются методы анализа размерностей. В конце каждой главы приводятся контрольные вопросы, рекомендуемые демонстрации, подробно разобранные примеры решения задач и задачи для самостоятельного решения с ответами. Учебное пособие предназначено для студентов I–II курсов, обучающихся по направлениям подготовки 03.03.02 «Физика», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 12.03.04 «Биотехнические системы и технологии», 22.03.01 «Материаловедение и технологии материалов», 44.03.05 «Педагогическое образование (с двумя профилями подготовки)» (профили «Физика и информатика», «Математика и физика»), изучающих курсы молекулярной физики и термодинамики.
Доп.точки доступа:
Алыкова, О. М. \сост.\
9.
Подробнее
Вайспапир, В. Я.
Разработка и оформление технологической документации радиоэлектронных средств : учебное пособие / Вайспапир В. Я. - Новосибирск : Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики, 2022. - 107 с. - Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.84
Кл.слова (ненормированные):
радиоэлектронные средства -- технологическая документация
Аннотация: Рассмотрены основы разработки технологической документов радиоэлектронных средств. Пособие иллюстрировано примерами оформления различного рода документов. Учебное пособие предназначено для студентов направлений подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и 20.03.02 «Техносферная безопасность». Пособие может быть также полезно студентам других направлений и специалистам, занимающимся разработкой и оформлением технологических документов.
Вайспапир, В. Я.
Разработка и оформление технологической документации радиоэлектронных средств : учебное пособие / Вайспапир В. Я. - Новосибирск : Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики, 2022. - 107 с. - Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
радиоэлектронные средства -- технологическая документация
Аннотация: Рассмотрены основы разработки технологической документов радиоэлектронных средств. Пособие иллюстрировано примерами оформления различного рода документов. Учебное пособие предназначено для студентов направлений подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и 20.03.02 «Техносферная безопасность». Пособие может быть также полезно студентам других направлений и специалистам, занимающимся разработкой и оформлением технологических документов.
10.
Подробнее
Васильев, В. Ю.
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие / Васильев В. Ю. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2022. - 131 с. - ISBN 978-5-7782-4726-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.85
Кл.слова (ненормированные):
диэлектрический материал -- интегральная микросхема -- многоуровневая металлизация -- планаризация -- пленка -- технологический маршрут -- электроника
Аннотация: Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Line (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем. Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
Васильев, В. Ю.
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие / Васильев В. Ю. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2022. - 131 с. - ISBN 978-5-7782-4726-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
диэлектрический материал -- интегральная микросхема -- многоуровневая металлизация -- планаризация -- пленка -- технологический маршрут -- электроника
Аннотация: Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Line (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем. Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
Беті 1, Нәтижелерін: 140