База данных: Ретро кітаптар
Беті 1, Нәтижелерін: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Р24
Распопов, В. Я.
Микромеханические приборы [Текст] : учеб.пособие / В. Я. Распопов. - Москва : Машиностроение, 2007. - 400 с.:ил. - ISBN 5-217-03360-6 : 10700т. 00т. тг.
ББК 34.9я7
Рубрики: Технология металлов. Машиностроение. Приборостроение
Приборостроение
Кл.слова (ненормированные):
гироскопы -- микрогироскопы -- камеротные и волновые микрогироскопы -- изготовления микроструктур -- сборка микромеханического прибора -- изотропные травления -- анизотропные травления -- фотолитография -- эпитаксия -- литография -- металлы -- кремний -- материалы -- кристаллы -- динамика ЧЭ микромеханических приборов -- элементная база микромеханических приборов -- измерительные свойства микромеханических приборов
Экземпляры всего: 1
2.1-№2 оқу залы (1)
Свободны: 2.1-№2 оқу залы (1)
Р24
Распопов, В. Я.
Микромеханические приборы [Текст] : учеб.пособие / В. Я. Распопов. - Москва : Машиностроение, 2007. - 400 с.:ил. - ISBN 5-217-03360-6 : 10700т. 00т. тг.
Рубрики: Технология металлов. Машиностроение. Приборостроение
Приборостроение
Кл.слова (ненормированные):
гироскопы -- микрогироскопы -- камеротные и волновые микрогироскопы -- изготовления микроструктур -- сборка микромеханического прибора -- изотропные травления -- анизотропные травления -- фотолитография -- эпитаксия -- литография -- металлы -- кремний -- материалы -- кристаллы -- динамика ЧЭ микромеханических приборов -- элементная база микромеханических приборов -- измерительные свойства микромеханических приборов
Экземпляры всего: 1
2.1-№2 оқу залы (1)
Свободны: 2.1-№2 оқу залы (1)
Беті 1, Нәтижелерін: 1