QR-код құжаттың
93331
Липатов, Г. И.
Особенности производства ИС : учебное пособие / Липатов Г. И. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. - 79 с. - ISBN 978-5-7731-0800-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК | 62 |
Кл.слова (ненормированные):
интегральная схема -- метод -- полупроводниковый прибор -- производство -- технологическая операция
Аннотация: Учебное пособие содержит общие сведения к выполнению отчета по технологической практике, включая основные этапы технологии изготовления полупроводниковых приборов и ИС, принципы формирования структур ИС, основные группы методов технологии изготовления ИС, основы технологических маршрутов изготовления приборных структур, особенности производства ИС и критерии прогрессивности технологии, основные технологические операции изготовления ИС, примерные технологические маршруты изготовления полупроводниковых приборов и ИС. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Технологическая практика» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).
Жіктеу бойынша ұқсас басылымдар