QR-код құжаттың
88693
Технологии субмикронных структур микроэлектроники / Достанко А. П. - Минск : Белорусская наука, 2018. - 271 с. - ISBN 978-985-08-2298-7 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК | 621.382 |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- субмикронная структура -- технология -- электроника
Аннотация: Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Доп.точки доступа:
Достанко, А. П.
Бордусов, С. В.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Колос, В. В.
Купо, А. Н.
Ланин, В. Л.
Лушакова, М. С.
Мадвейко, С. И.
Мельников, С. Н.
Петлицкий, А. Н.
Петухов, И. Б.
Солодуха, В. А.
Телеш, Е. В.
Достанко, А. П. \ред.\
Жіктеу бойынша ұқсас басылымдар