QR-код құжаттың
22.37я5
И75
Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы [Текст] : пер. с англ. В.С.Вавилова. - М. : Мир, 1980. - 330 с. - 0т. 00т. тг.
Рубрики: ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ
ФИЗИКА
Кл.слова (ненормированные):
физика -- ионная имплантация -- ионное распыление -- твердые тела
Экземпляры всего: 2
5.2-№6 оқу залы (2)
Свободны: 5.2-№6 оқу залы (2)
Жіктеу бойынша ұқсас басылымдар