QR-код құжаттың
681.2
Ф333
Федоров, Л. П.
Производство полупроводниковых приборов [Текст] / Под ред.Л.А.Петрова. - М. : Энергия, 1979. - 432 с. - 1р.60к. тг.
| УДК | 681.2 |
Рубрики: ТЕХНИКА
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Кл.слова (ненормированные):
полупроводник -- полупроводниковые приборы -- фотолитограф -- кремний -- полукристалл -- ультрозвук -- кристалл
Доп.точки доступа:
Багров, В.М.
Тихонов, Ю.Н.
Экземпляры всего: 1
6.1-№8 оқу залы (1)
Свободны: 6.1-№8 оқу залы (1)