База данных: Ретро кітаптар
Беті 1, Нәтижелерін: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
К43
Киреев, В.
Технология микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы [Текст] : учебное пособие / В. Киреев, А. Столяров. - Москва : Техносфера, 2006. - 192 с. - ISBN 5-94836-039-3 : 2600т. 00т. тг.
ББК 32.844.1
Рубрики: Радиоэлектроника
Радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура)
Кл.слова (ненормированные):
классификация процессов ХОГФ функциональных слоев ИМС -- функциональные слои ИМС, осаждаемые в процессах ХОГФ -- механизмы протекания процессов ХОГФ -- пленки титана, его силицидов и нитридов -- пленки меди -- пленки алюминия и его сплавов -- электроники -- технологии микроэлектроники -- химическое осаждение их газовой фазы
Доп.точки доступа:
Столяров, А.
Экземпляры всего: 1
2.1-№2 оқу залы (1)
Свободны: 2.1-№2 оқу залы (1)
К43
Киреев, В.
Технология микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы [Текст] : учебное пособие / В. Киреев, А. Столяров. - Москва : Техносфера, 2006. - 192 с. - ISBN 5-94836-039-3 : 2600т. 00т. тг.
Рубрики: Радиоэлектроника
Радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура)
Кл.слова (ненормированные):
классификация процессов ХОГФ функциональных слоев ИМС -- функциональные слои ИМС, осаждаемые в процессах ХОГФ -- механизмы протекания процессов ХОГФ -- пленки титана, его силицидов и нитридов -- пленки меди -- пленки алюминия и его сплавов -- электроники -- технологии микроэлектроники -- химическое осаждение их газовой фазы
Доп.точки доступа:
Столяров, А.
Экземпляры всего: 1
2.1-№2 оқу залы (1)
Свободны: 2.1-№2 оқу залы (1)
Беті 1, Нәтижелерін: 1