Электрондық каталог

107658

    Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники / Достанко А. П. - Минск : Белорусская наука, 2020. - 261 с. - ISBN 978-985-08-2521-6 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК

621.382

ББК 32.85

Кл.слова (ненормированные):
инновационная технология -- микроэлектроника -- оборудование -- субмикронная электроника
Аннотация: В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

Доп.точки доступа:
Достанко, А. П.
Аваков, С. М.
Голосов, Д. А.
Емельянов, Е. В.
Завадский, С. М.
Колос, В. В.
Ланин, В. Л.
Мадвейко, С. И.
Мельников, С. Н.
Никитюк, Ю. В.
Петлицкий, А. Н.
Петухов, И. Б.
Пилипенко, В. А.
Плебанович, В. И.
Солодуха, В. А.
Соколов, С. И.
Телеш, Е. В.
Шершнев, Е. Б.
Достанко, А. П. \ред.\