База данных: IPR SMART кітаптар
Беті 5, Нәтижелерін: 42
Отмеченные записи: 0
41.
Подробнее
Родионов, Ю. А.
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Родионов Ю. А. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. - 352 с. - ISBN 978-5-9729-0337-5 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.84
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- наноэлектроника -- полупроводник -- твердое тело -- технологический процесс -- физическая химия
Аннотация: Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Родионов, Ю. А.
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Родионов Ю. А. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. - 352 с. - ISBN 978-5-9729-0337-5 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- наноэлектроника -- полупроводник -- твердое тело -- технологический процесс -- физическая химия
Аннотация: Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
42.
Подробнее
Камлюк, В. С.
Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники : учебное пособие / Камлюк В. С. - Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2016. - 384 с. - ISBN 978-985-503-627-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.84
Кл.слова (ненормированные):
интерфейс -- машина -- мехатроника -- мехатронный модуль -- микроэлектроника -- радиоэлектроника -- технологическое оборудование
Аннотация: Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»).
Доп.точки доступа:
Камлюк, Д. В.
Камлюк, В. С.
Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники : учебное пособие / Камлюк В. С. - Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2016. - 384 с. - ISBN 978-985-503-627-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
интерфейс -- машина -- мехатроника -- мехатронный модуль -- микроэлектроника -- радиоэлектроника -- технологическое оборудование
Аннотация: Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»).
Доп.точки доступа:
Камлюк, Д. В.
Беті 5, Нәтижелерін: 42