Электрондық каталог

64174
Бублик, В. Т.
    Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрия : учебное пособие / Бублик В. Т. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2016. - 84 с. - ISBN 978-5-87623-982-2 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК

62

ББК 30.3

Кл.слова (ненормированные):
дифракционный метод -- диффузное рассеяние -- материал -- приборная структура -- рентгеновская рефлектометрия
Аннотация: Кратко изложены теоретические основы метода рентгеновской рефлектометрии. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для магистров, обучающихся по направлению 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники».

Доп.точки доступа:
Щербачев, К. Д.
Воронова, М. И.