База данных: Каталог ЭБС IPR SMART
Страница 1, Результатов: 3
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Липатов, Г. И.
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г. И. - Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2021. - 84 с. - ISBN 978-5-4497-1207-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.841
Кл.слова (ненормированные):
наноэлектроника -- парогазовая фаза -- получение пленки -- физико-химия -- физическое осаждение -- химическое осаждение
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Помимо теоретического материала издание содержит также лабораторные работы, которые включают расчет скорости осаждения пленок из парогазовой фазы в различных режимах протекания процесса и изменения состава пленок по толщине при вакуум-термическом напылении, исследование процесса эпитаксиального осаждения кремния, изучение процесса непрерывной ректификации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»), изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии».
Липатов, Г. И.
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г. И. - Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2021. - 84 с. - ISBN 978-5-4497-1207-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
наноэлектроника -- парогазовая фаза -- получение пленки -- физико-химия -- физическое осаждение -- химическое осаждение
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Помимо теоретического материала издание содержит также лабораторные работы, которые включают расчет скорости осаждения пленок из парогазовой фазы в различных режимах протекания процесса и изменения состава пленок по толщине при вакуум-термическом напылении, исследование процесса эпитаксиального осаждения кремния, изучение процесса непрерывной ректификации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»), изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии».
2.
Подробнее
Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие / Маскаева Л. Н. - Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2018. - 136 с. - ISBN 978-5-7996-2411-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 24.1
Кл.слова (ненормированные):
водный раствор -- газовая фаза -- полупроводниковая пленка -- тонкая пленка -- халькогениды -- химическое осаждение
Аннотация: В учебном пособии изложены теоретический материал и алгоритмы выполнения курсовых работ, предлагаемых студентам по ряду профильных дисциплин, связанных с прогнозированием условий и проведением процесса осаждения полупроводниковых пленок на основе халькогенидов металлов и других сопутствующих фаз. Приведены необходимый для выполнения расчетов обширный справочный материал, рекомендации по содержанию и оформлению отчетов. Исходя из известных рабочих рецептур, подобраны различные варианты индивидуальных заданий по курсовым работам. Предназначено для студентов бакалавриата и магистрантов, обучающихся по программе «Химическая технология материалов электроники, сенсорной аналитики и неорганических веществ», будет полезно аспирантам различных специальностей и преподавателям вузов.
Доп.точки доступа:
Маскаева, Л. Н.
Марков, В. Ф.
Форостяная, Н. А.
Туленин, С. С.
Федорова, Е. А.
Смирнова, З. И.
Титов, А. Н.
Маскаевой, Л. Н. \ред.\
Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие / Маскаева Л. Н. - Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2018. - 136 с. - ISBN 978-5-7996-2411-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
водный раствор -- газовая фаза -- полупроводниковая пленка -- тонкая пленка -- халькогениды -- химическое осаждение
Аннотация: В учебном пособии изложены теоретический материал и алгоритмы выполнения курсовых работ, предлагаемых студентам по ряду профильных дисциплин, связанных с прогнозированием условий и проведением процесса осаждения полупроводниковых пленок на основе халькогенидов металлов и других сопутствующих фаз. Приведены необходимый для выполнения расчетов обширный справочный материал, рекомендации по содержанию и оформлению отчетов. Исходя из известных рабочих рецептур, подобраны различные варианты индивидуальных заданий по курсовым работам. Предназначено для студентов бакалавриата и магистрантов, обучающихся по программе «Химическая технология материалов электроники, сенсорной аналитики и неорганических веществ», будет полезно аспирантам различных специальностей и преподавателям вузов.
Доп.точки доступа:
Маскаева, Л. Н.
Марков, В. Ф.
Форостяная, Н. А.
Туленин, С. С.
Федорова, Е. А.
Смирнова, З. И.
Титов, А. Н.
Маскаевой, Л. Н. \ред.\
3.
Подробнее
Волкогон, Г. М.
Прогрессивные методы синтеза нанокристаллических порошков : монография / Волкогон Г. М. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. - 124 с. - ISBN 978-5-9729-0917-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 34.39
Кл.слова (ненормированные):
газофазный метод -- молекулярные пучки -- нанокристаллический порошок -- нанопорошок -- синтез -- химическое осаждение
Аннотация: Представлены современные процессы получения нанопорошков. Рассмотрен метод химического осаждения, газофазный метод с конденсацией, метод молекулярных пучков, растворные методы. Описано технологическое оборудование, которое используется для производства нанопорошков. Для инженерно-технических работников промышленного производства, а также научных сотрудников, технологов и студентов, интересующихся вопросами металлургии и материаловедения.
Доп.точки доступа:
Еремеева, Ж. В.
Ледовской, Д. А.
Волкогон, Г. М.
Прогрессивные методы синтеза нанокристаллических порошков : монография / Волкогон Г. М. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. - 124 с. - ISBN 978-5-9729-0917-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
газофазный метод -- молекулярные пучки -- нанокристаллический порошок -- нанопорошок -- синтез -- химическое осаждение
Аннотация: Представлены современные процессы получения нанопорошков. Рассмотрен метод химического осаждения, газофазный метод с конденсацией, метод молекулярных пучков, растворные методы. Описано технологическое оборудование, которое используется для производства нанопорошков. Для инженерно-технических работников промышленного производства, а также научных сотрудников, технологов и студентов, интересующихся вопросами металлургии и материаловедения.
Доп.точки доступа:
Еремеева, Ж. В.
Ледовской, Д. А.
Страница 1, Результатов: 3