Технология интегральных микросхем/Смирнов, В. И.

 

QR-код документа

Оценок: 0

133077
Смирнов, В. И.
    Технология интегральных микросхем : учебное пособие / Смирнов В. И. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. - 244 с. - ISBN 978-5-9729-1232-2 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК
621.382
ББК 32.965

Кл.слова (ненормированные):
интегральная микросхема -- пластина -- полупроводник -- слиток -- тонкая пленка
Аннотация: Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг

Похожие издания по классификации

Программирование для автоматизированного оборудования/Полторацкая, И. В.
Наноэлектроника, нанофотоника и микросистемная техника/Смирнов, В. И.
Адаптивные системы управления/Воронин, А. В.
Математические модели систем управления/Семенов, А. Д.
Методы анализа и синтеза цифровых систем автоматического управления/Хорхордин, А. В.