Плазменное оборудование для нанотехнологий/Гребенщикова, М. М.

 

QR-код документа

Оценок: 0

136179
Гребенщикова, М. М.
    Плазменное оборудование для нанотехнологий : учебное пособие / Гребенщикова М. М. - Казань : Издательство КНИТУ, 2022. - 96 с. - ISBN 978-5-7882-3285-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК
621.793
ББК 30.61

Кл.слова (ненормированные):
вакуумная камера -- вакуумное оборудование -- материал -- наноинженерия -- нанотехнология -- плазменное оборудование -- покрытие
Аннотация: Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высокомолекулярных материалов.

Доп.точки доступа:
Миронов, М. М.

Похожие издания по классификации