Современное технологическое оборудование для микроэлектроники/Камлюк, В. С.

Современное технологическое оборудование для микроэлектроники/Камлюк, В. С.

http://e-lib.dulaty.kz/lib/document/IPRSMART/FEB47B4A-6282-471C-B7E0-E68A40187F6D/

125423
Камлюк, В. С.
    Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / Камлюк В. С. - Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. - 267 с. - ISBN 978-985-895-032-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

УДК

621.315

ББК 32.844

Кл.слова (ненормированные):
аттестация -- микроэлектроника -- наладка -- полупроводник -- регулировка -- технологическое оборудование
Аннотация: В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».

Доп.точки доступа:
Камлюк, Д. В.

QR-код документа