QR-код документа
621.38(075)
Н632
Николаев, И. М.
Оборудование и технология производства полупроводниковых приборов [Текст] / И. М. Николаев. - М. : Высш.шк., 1977. - 269 с. - 0р.80к.
| УДК | 621.38(075) |
Рубрики: ТЕХНИКА
ЭЛЕКТРОТЕХНИКА
Кл.слова (ненормированные):
характеристика -- оборудование -- полупроводниковый прибор -- микросхема -- очистка -- контроль -- вода -- газ -- механическая обработка -- технохимическая оборудования -- электрофизический -- вакуумное -- оптико-механическое
Экземпляры всего: 1
6.1-№8 оқу залы (1)
Свободны: 6.1-№8 оқу залы (1)