QR-код документа
531.91
И75
Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы [Текст] : сб.статей / Пер.с англ.В.С.Вавилова. - М. : Мир, 1980. - 330 с. - 2р.80к. тг.
| УДК | 531.91 |
Рубрики: ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ
ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ МЕХАНИКА
ФИЗИКА
Кл.слова (ненормированные):
проводники -- физика твердого тела -- ионная имплантация -- теория пробегов -- лазерный отжиг -- диффузия
Экземпляры всего: 1
2.1-№2 оқу залы (1)
Свободны: 2.1-№2 оқу залы (1)