Процессы микро - и нанотехнологии [Электронный ресурс] /Данилина, Т. И.

Процессы микро - и нанотехнологии [Электронный ресурс] /Данилина, Т. И.

http://e-lib.dulaty.kz/lib/document/SK_ELIB/0FDEF4D3-C514-4AEF-BD24-544D120C190B/

32.85я73
Д18
Данилина, Т. И.
    Процессы микро - и нанотехнологии [Электронный ресурс] : учебное пособие / Т. И. Данилина. - Томск : ТГУ, 2004. - 259 с. - Б. ц.

ББК 32.85я73

Рубрики: ТЕХНИКА

   РАДИОЭЛЕКТРОНИКА

Кл.слова (ненормированные):
микросхем -- литографии -- ионная литография -- легирование полупроводников

QR-код документа