Технология кремневой наноэлектроники [Электронный ресурс] /Данилина, Т. И.

Технология кремневой наноэлектроники [Электронный ресурс] /Данилина, Т. И.

http://e-lib.dulaty.kz/lib/document/SK_ELIB/43C9959E-12DF-41ED-9978-03C3C219347C/

32.85я73
Д18
Данилина, Т. И.
    Технология кремневой наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Т. И. Данилина. - Томск : ТГУ, 2011. - 264 с. - Б. ц.

ББК 32.85я73

Рубрики: ТЕХНИКА

   РАДИОЭЛЕКТРОНИКА

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- закон Мура -- травление наноструктур

QR-код документа