База данных: Каталог ЭБС IPR SMART
Страница 2, Результатов: 41
Отмеченные записи: 0
11.
Подробнее
Князев, А. В.
Выбор и расчет технологического оборудования производства ацетилсалициловой кислоты : учебное пособие / Князев А. В. - Казань : Издательство КНИТУ, 2020. - 112 с. - ISBN 978-5-7882-2845-7 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 35.50
Кл.слова (ненормированные):
фармакология -- химическая промышленность -- химическая технология -- химическое оборудование
Аннотация: Кратко изложена технология производства ацетилсалициловой кислоты, на примере процесса ее получения рассмотрены принципы расчета и выбора оборудования для химико-фармацевтических производств. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению подготовки 18.03.01 «Химическая технология». Подготовлено на кафедре химии и технологии органических соединений азота.
Доп.точки доступа:
Гильманов, Р. З.
Хайрутдинов, Ф. Г.
Князев, А. В.
Выбор и расчет технологического оборудования производства ацетилсалициловой кислоты : учебное пособие / Князев А. В. - Казань : Издательство КНИТУ, 2020. - 112 с. - ISBN 978-5-7882-2845-7 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
фармакология -- химическая промышленность -- химическая технология -- химическое оборудование
Аннотация: Кратко изложена технология производства ацетилсалициловой кислоты, на примере процесса ее получения рассмотрены принципы расчета и выбора оборудования для химико-фармацевтических производств. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению подготовки 18.03.01 «Химическая технология». Подготовлено на кафедре химии и технологии органических соединений азота.
Доп.точки доступа:
Гильманов, Р. З.
Хайрутдинов, Ф. Г.
12.
Подробнее
Козадерова, О. А.
Материальные и тепловые балансы в технологии аммиака и азотной кислоты : учебное пособие / Козадерова О. А. - Воронеж : Воронежский государственный университет инженерных технологий, 2020. - 72 с. - ISBN 978-5-00032-493-6 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 35.11
Кл.слова (ненормированные):
азотная кислота -- аммиак -- тепловой баланс -- химические технологии
Аннотация: Учебное пособие разработано в соответствии с требованиями ФГОС ВО подготовки выпускников по направлению 18.03.01 – «Химическая технология» и предназначено для закрепления теоретических знаний дисциплины \"Химическая технология неорганических веществ\" цикла Б3. В учебном пособии рассматриваются примеры расчетов материальных и тепловых балансов в технологии аммиака и азотной кислоты.
Доп.точки доступа:
Нифталиев, С. И.
Ким, К. Б.
Козадерова, О. А.
Материальные и тепловые балансы в технологии аммиака и азотной кислоты : учебное пособие / Козадерова О. А. - Воронеж : Воронежский государственный университет инженерных технологий, 2020. - 72 с. - ISBN 978-5-00032-493-6 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
азотная кислота -- аммиак -- тепловой баланс -- химические технологии
Аннотация: Учебное пособие разработано в соответствии с требованиями ФГОС ВО подготовки выпускников по направлению 18.03.01 – «Химическая технология» и предназначено для закрепления теоретических знаний дисциплины \"Химическая технология неорганических веществ\" цикла Б3. В учебном пособии рассматриваются примеры расчетов материальных и тепловых балансов в технологии аммиака и азотной кислоты.
Доп.точки доступа:
Нифталиев, С. И.
Ким, К. Б.
13.
Подробнее
Органическая химия. Монофункциональные соединения. Тестовые задания : учебное пособие / Иванов В. А. - Санкт-Петербург : Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна, 2020. - 83 с. - ISBN 978-5-7937-1889-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 24.2
Кл.слова (ненормированные):
галогеноуглеводород -- монофункциональное соединение -- органическая химия
Аннотация: Пособие построено в виде сборника тестовых заданий, охватывающего весь объем материала дисциплины. Оно разделено на четыре части: 1) вводная и теоретическая главы курса, алканы и алициклы; 2) непредельные и ароматические углеводороды; 3) монофункциональные соединения; 4) полифункциональные соединения и гетероциклы. Данная третья часть пособия включает пять тем: галогеноуглеводороды, азотсодержащие соединения, гидроксисоединения, оксосоединения и карбоновые кислоты. Ее содержание направлено на активную работу студентов. Каждый вариант в пособии составлен из вопроса и четырех возможных ответов. Работа студентов с конспектом лекций и рекомендуемым учебником позволяет найти единственно правильный ответ на поставленный вопрос. Для придания самостоятельности работе в каждой теме материал разбит на ряд вариантов, внутри которых он расположен в порядке рассмотрения конкретной темы на лекциях. Предназначается для студентов всех форм обучения направлений СПбГУПТД, изучающих дисциплины «Органическая химия» или «Химия».
Доп.точки доступа:
Иванов, В. А.
Сашина, Е. С.
Михайловская, А. П.
Новоселов, Н. П.
Органическая химия. Монофункциональные соединения. Тестовые задания : учебное пособие / Иванов В. А. - Санкт-Петербург : Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна, 2020. - 83 с. - ISBN 978-5-7937-1889-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
галогеноуглеводород -- монофункциональное соединение -- органическая химия
Аннотация: Пособие построено в виде сборника тестовых заданий, охватывающего весь объем материала дисциплины. Оно разделено на четыре части: 1) вводная и теоретическая главы курса, алканы и алициклы; 2) непредельные и ароматические углеводороды; 3) монофункциональные соединения; 4) полифункциональные соединения и гетероциклы. Данная третья часть пособия включает пять тем: галогеноуглеводороды, азотсодержащие соединения, гидроксисоединения, оксосоединения и карбоновые кислоты. Ее содержание направлено на активную работу студентов. Каждый вариант в пособии составлен из вопроса и четырех возможных ответов. Работа студентов с конспектом лекций и рекомендуемым учебником позволяет найти единственно правильный ответ на поставленный вопрос. Для придания самостоятельности работе в каждой теме материал разбит на ряд вариантов, внутри которых он расположен в порядке рассмотрения конкретной темы на лекциях. Предназначается для студентов всех форм обучения направлений СПбГУПТД, изучающих дисциплины «Органическая химия» или «Химия».
Доп.точки доступа:
Иванов, В. А.
Сашина, Е. С.
Михайловская, А. П.
Новоселов, Н. П.
14.
Подробнее
Кротова, И. В.
Прикладная химия : учебное пособие / Кротова И. В. - Красноярск : Сибирский федеральный университет, 2020. - 148 с. - ISBN 978-5-7638-4215-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 24.2
Кл.слова (ненормированные):
дисперсная система -- коллоидная химия -- органическая химия -- органическое вещество -- потребительский товар -- раствор -- физическая химия
Аннотация: В первой главе пособия представлены основные разделы органической химии: структурная теория А. М. Бутлерова, номенклатура органических соединений, классификация органических реакций. Рассмотрены отдельные классы углеводородов, кислород- и азотсодержащих органических веществ. Особый акцент сделан на использовании указанных классов органических соединений в производстве потребительских товаров. Во второй главе описаны поверхностные явления, различные дисперсные системы, а также высокомолекулярные соединения и их растворы. Изложены основные теоретические положения физической и коллоидной химии. Теоретический материал проиллюстрирован примерами физико-химических процессов, протекающих на различных этапах жизненного цикла потребительских товаров. Даны вопросы и задания для самоконтроля. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению бакалавриата 38.03.07 «Товароведение».
Кротова, И. В.
Прикладная химия : учебное пособие / Кротова И. В. - Красноярск : Сибирский федеральный университет, 2020. - 148 с. - ISBN 978-5-7638-4215-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
дисперсная система -- коллоидная химия -- органическая химия -- органическое вещество -- потребительский товар -- раствор -- физическая химия
Аннотация: В первой главе пособия представлены основные разделы органической химии: структурная теория А. М. Бутлерова, номенклатура органических соединений, классификация органических реакций. Рассмотрены отдельные классы углеводородов, кислород- и азотсодержащих органических веществ. Особый акцент сделан на использовании указанных классов органических соединений в производстве потребительских товаров. Во второй главе описаны поверхностные явления, различные дисперсные системы, а также высокомолекулярные соединения и их растворы. Изложены основные теоретические положения физической и коллоидной химии. Теоретический материал проиллюстрирован примерами физико-химических процессов, протекающих на различных этапах жизненного цикла потребительских товаров. Даны вопросы и задания для самоконтроля. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению бакалавриата 38.03.07 «Товароведение».
15.
Подробнее
Никитин, Л. Н.
Способы создания глубокого вакуума : учебное пособие / Никитин Л. Н. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2020. - 90 с. - ISBN 978-5-7731-0846-7 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 32.884
Кл.слова (ненормированные):
азот -- вакуум -- испарители -- крионасосы -- насосы
Аннотация: Учебное издание содержит необходимые теоретические материалы и задания для проведения занятий по дисциплине «Методы и устройства испытаний ЭС». Издание предназначено для студентов специальности 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств» (профиль «Проектирование и технология радиоэлектронных средств»).
Доп.точки доступа:
Костюков, А. С.
Гостев, М. Ю.
Никитин, Л. Н.
Способы создания глубокого вакуума : учебное пособие / Никитин Л. Н. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2020. - 90 с. - ISBN 978-5-7731-0846-7 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
азот -- вакуум -- испарители -- крионасосы -- насосы
Аннотация: Учебное издание содержит необходимые теоретические материалы и задания для проведения занятий по дисциплине «Методы и устройства испытаний ЭС». Издание предназначено для студентов специальности 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств» (профиль «Проектирование и технология радиоэлектронных средств»).
Доп.точки доступа:
Костюков, А. С.
Гостев, М. Ю.
16.
Подробнее
Ванин, А. Ф.
Динитрозильные комплексы железа с тиолсодержащими лигандами : физикохимия, биология, медицина / Ванин А. Ф. - Москва, Ижевск : Институт компьютерных исследований, 2019. - 222 с. - ISBN 978-5-4344-0761-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 28.0
Кл.слова (ненормированные):
биология -- биосистема -- днкж -- медицина -- физикохимия
Аннотация: В монографии суммированы результаты более чем 50-летних исследований автора физико-химических свойств и разнообразной биологической активности динитрозильных комплексов железа (ДНКЖ) с природными тиолсодержащими лигандами — цистеином и глутатионом. Эти комплексы были открыты и идентифицированы в микроорганизмах и тканях животных автором книги в начале 60-х годов. Интерес к ним резко возрос после обнаружения фундаментальной роли в разнообразных метаболических процессах компонента ДНКЖ — монооксида азота (NO) как одного из универсальных регуляторов этих процессов. Установлено, что ДНКЖ с цистеином или глутатионом как доноры NO и ионов нитрозония (NO+) имитируют обнаруженное к настоящему времени как регуляторное, так и цитотоксическое действие NO и NO+ на живые системы, так что эти комплексы можно рассматривать в качестве «рабочей» формы этих агентов, обеспечивающей их функционирование в живых системах. Рассмотрены примеры обоих типов действия ДНКЖ на эти системы. Книга предназначается для ученых, работающих в новой области биологии — биологии NO, а также исследователей, интересующихся этим научным направлением. Книга будет полезной для студентов и школьников, мечтающих посвятить свою жизнь науке.
Ванин, А. Ф.
Динитрозильные комплексы железа с тиолсодержащими лигандами : физикохимия, биология, медицина / Ванин А. Ф. - Москва, Ижевск : Институт компьютерных исследований, 2019. - 222 с. - ISBN 978-5-4344-0761-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
биология -- биосистема -- днкж -- медицина -- физикохимия
Аннотация: В монографии суммированы результаты более чем 50-летних исследований автора физико-химических свойств и разнообразной биологической активности динитрозильных комплексов железа (ДНКЖ) с природными тиолсодержащими лигандами — цистеином и глутатионом. Эти комплексы были открыты и идентифицированы в микроорганизмах и тканях животных автором книги в начале 60-х годов. Интерес к ним резко возрос после обнаружения фундаментальной роли в разнообразных метаболических процессах компонента ДНКЖ — монооксида азота (NO) как одного из универсальных регуляторов этих процессов. Установлено, что ДНКЖ с цистеином или глутатионом как доноры NO и ионов нитрозония (NO+) имитируют обнаруженное к настоящему времени как регуляторное, так и цитотоксическое действие NO и NO+ на живые системы, так что эти комплексы можно рассматривать в качестве «рабочей» формы этих агентов, обеспечивающей их функционирование в живых системах. Рассмотрены примеры обоих типов действия ДНКЖ на эти системы. Книга предназначается для ученых, работающих в новой области биологии — биологии NO, а также исследователей, интересующихся этим научным направлением. Книга будет полезной для студентов и школьников, мечтающих посвятить свою жизнь науке.
17.
Подробнее
Баннов, А. Г.
Инструментальные методы анализа: термический анализ и низкотемпературная адсорбция азота : учебное пособие / Баннов А. Г. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. - 72 с. - ISBN 978-5-7782-3847-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 24.4
Кл.слова (ненормированные):
адсорбция -- инструментальный метод -- наноматериал -- термический анализ -- химия
Аннотация: В настоящей работе изложена общая теоретическая информация об инструментальных методах анализа наноматериалов, таких как термический анализ и низкотемпературная адсорбция азота. Дана характеристика приборов Netzsch STA 449 C и Quantachrome NOVA 1000е, а также представлены методики работы на данном оборудовании и методы обработки полученной информации. Адресовано студентам химико-технологического профиля.
Доп.точки доступа:
Попов, М. В.
Баннов, А. Г.
Инструментальные методы анализа: термический анализ и низкотемпературная адсорбция азота : учебное пособие / Баннов А. Г. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. - 72 с. - ISBN 978-5-7782-3847-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
адсорбция -- инструментальный метод -- наноматериал -- термический анализ -- химия
Аннотация: В настоящей работе изложена общая теоретическая информация об инструментальных методах анализа наноматериалов, таких как термический анализ и низкотемпературная адсорбция азота. Дана характеристика приборов Netzsch STA 449 C и Quantachrome NOVA 1000е, а также представлены методики работы на данном оборудовании и методы обработки полученной информации. Адресовано студентам химико-технологического профиля.
Доп.точки доступа:
Попов, М. В.
18.
Подробнее
Киселев, А. М.
Химическая технология органических и неорганических веществ. Химическая технология неорганических веществ. Соединения алюминия, свинца, титана и азота : учебное пособие / Киселев А. М. - Санкт-Петербург : Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна, 2019. - 104 с. - ISBN 978-5-7937-1766-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 35.20-46
Кл.слова (ненормированные):
азот -- алюминий -- неорганическое вещество -- свинец -- титан -- химическая технология
Аннотация: Учебное пособие составлено на базе фундаментального учебника «Химическая технология неорганических веществ», вышедшего в свет в 2002 г. под редакцией проф. Т. Г. Ахметова (авторы: Т. Г. Ахметов, Р. Т. Порфирева, Л. Г. Гайсин, Л. Т. Ахметова, Я. М. Каримов, А. И. Хацринов). Представлены сведения о строении, свойствах и технологических способах получения неорганических веществ и их основных соединений, а также об областях их применения. Затронуты вопросы промышленной безопасности соответствующих производств. Предназначено для обучающихся по направлению «Химическая технология» (профиль «Химическая технология органических и неорганических веществ») по всем формам обучения.
Доп.точки доступа:
Дащенко, Н. В.
Киселев, А. М.
Химическая технология органических и неорганических веществ. Химическая технология неорганических веществ. Соединения алюминия, свинца, титана и азота : учебное пособие / Киселев А. М. - Санкт-Петербург : Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна, 2019. - 104 с. - ISBN 978-5-7937-1766-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
азот -- алюминий -- неорганическое вещество -- свинец -- титан -- химическая технология
Аннотация: Учебное пособие составлено на базе фундаментального учебника «Химическая технология неорганических веществ», вышедшего в свет в 2002 г. под редакцией проф. Т. Г. Ахметова (авторы: Т. Г. Ахметов, Р. Т. Порфирева, Л. Г. Гайсин, Л. Т. Ахметова, Я. М. Каримов, А. И. Хацринов). Представлены сведения о строении, свойствах и технологических способах получения неорганических веществ и их основных соединений, а также об областях их применения. Затронуты вопросы промышленной безопасности соответствующих производств. Предназначено для обучающихся по направлению «Химическая технология» (профиль «Химическая технология органических и неорганических веществ») по всем формам обучения.
Доп.точки доступа:
Дащенко, Н. В.
19.
Подробнее
Петров, А. И.
Химия и технология нитратов целлюлозы. В 2 частях. Ч.1 : учебное пособие / Петров А. И. - Казань : Казанский национальный исследовательский технологический университет, 2019. - 172 с. - ISBN 978-5-7882-2673-6 (ч.1), 978-5-7882-2672-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 35.50-78
Кл.слова (ненормированные):
молекулярная масса -- нитраты -- физическая структура -- химическое строение -- химия -- целлюлоза
Аннотация: Приведены современные представления о структуре целлюлозы и нитратов целлюлозы, рассмотрены основные химические, физические, физико-химические и энергетические свойства последних, также теоретические основы процессов получения НЦ. Обсуждены преимущества и недостатки основных методов получения НЦ, особенности процесса нитрования целлюлозы смесями азотной, серной кислот и воды, факторы, влияющие на него. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки бакалавров 18.03.01 и магистров 18.04.01 «Химическая технология», а также по специальности 18.05.01 «Химическая технология энергонасыщенных материалов и изделий». Может быть полезно при выполнении научно-исследовательских и выпускных квалификационных работ. Подготовлено на кафедре химии и технологии высокомолекулярных соединений.
Доп.точки доступа:
Баранова, Н. В.
Никитина, Н. Н.
Косточко, А. В. \ред.\
Петров, А. И.
Химия и технология нитратов целлюлозы. В 2 частях. Ч.1 : учебное пособие / Петров А. И. - Казань : Казанский национальный исследовательский технологический университет, 2019. - 172 с. - ISBN 978-5-7882-2673-6 (ч.1), 978-5-7882-2672-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
молекулярная масса -- нитраты -- физическая структура -- химическое строение -- химия -- целлюлоза
Аннотация: Приведены современные представления о структуре целлюлозы и нитратов целлюлозы, рассмотрены основные химические, физические, физико-химические и энергетические свойства последних, также теоретические основы процессов получения НЦ. Обсуждены преимущества и недостатки основных методов получения НЦ, особенности процесса нитрования целлюлозы смесями азотной, серной кислот и воды, факторы, влияющие на него. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки бакалавров 18.03.01 и магистров 18.04.01 «Химическая технология», а также по специальности 18.05.01 «Химическая технология энергонасыщенных материалов и изделий». Может быть полезно при выполнении научно-исследовательских и выпускных квалификационных работ. Подготовлено на кафедре химии и технологии высокомолекулярных соединений.
Доп.точки доступа:
Баранова, Н. В.
Никитина, Н. Н.
Косточко, А. В. \ред.\
20.
Подробнее
Берлин, Е. В.
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения : учебное пособие / Берлин Е. В. - Москва : Техносфера, 2018. - 464 с. - ISBN 978-5-94836-519-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
ББК 22.333
Кл.слова (ненормированные):
высокоплотная плазма -- индуктивные источники -- ионный ток -- плотность плазмы -- электрод
Аннотация: Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (10¹¹-10¹² см‾³), минимальный разброс ионов по энергиям (Δei ≤ 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (10‾²2÷10‾¹ Па) и низкую энергетическую цену иона (30÷80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ЮР для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD. За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Доп.точки доступа:
Григорьев, В. Ю.
Сейдман, Л. А.
Берлин, Е. В.
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения : учебное пособие / Берлин Е. В. - Москва : Техносфера, 2018. - 464 с. - ISBN 978-5-94836-519-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
высокоплотная плазма -- индуктивные источники -- ионный ток -- плотность плазмы -- электрод
Аннотация: Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (10¹¹-10¹² см‾³), минимальный разброс ионов по энергиям (Δei ≤ 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (10‾²2÷10‾¹ Па) и низкую энергетическую цену иона (30÷80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ЮР для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD. За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Доп.точки доступа:
Григорьев, В. Ю.
Сейдман, Л. А.
Страница 2, Результатов: 41